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課程名稱 |
生物微機電技術與實務
BioMEMS Fabrication |
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開課學期 |
105-2 |
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授課對象 |
生物資源暨農學院 生物機電工程學系 |
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授課教師 |
盧彥文 |
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課號 |
BME4670 |
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課程識別碼 |
631 U5720 |
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班次 |
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學分 |
1.0 |
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全/半年 |
半年 |
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必/選修 |
選修 |
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上課時間 |
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上課地點 |
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備註 |
Intensive courses。密集課程。2月15~17日第2、3、4、6、7、8節
總人數上限：5人 |
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Ceiba 課程網頁 |
http://ceiba.ntu.edu.tw/1052BME4670_ |
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課程簡介影片 |
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核心能力關聯 |
本課程尚未建立核心能力關連 |
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課程大綱
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為確保您我的權利,請尊重智慧財產權及不得非法影印
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課程概述 |
課程中將以實務的操作搭配生機系的製程儀器 (曝光機、反應性離子蝕刻機、蒸鍍機等)，並講授其應用。著重以製作開發生物微機電晶片的基本元件之基本訓練。 |
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課程目標 |
本課程主要介紹有關生物微機電的相關基本原理及應用技術，同時利用生機系的無塵室進行基本製程技術的示範與操作。 |
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課程要求 |
出席與上課參與
實作成果
隨堂測驗
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預期每週課後學習時數 |
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Office Hours |
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指定閱讀 |
待補 |
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參考書目 |
待補 |
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評量方式
(僅供參考) |
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週次 |
日期 |
單元主題 |
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第1週 |
2/15 |
實驗室安全講習及參觀 / Soft Lithograph |
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第2週 |
2/16 |
光罩製作實務 / 乾/濕式蝕刻
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第3週 |
2/17 |
金屬製程簡介
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